خصائص عملية الحفر المثالية

يجب أن يكون لعملية الحفر المثالية الخصائص الرئيسية التالية لتلبية المتطلبات ذات الدقة العالية لتصنيع أشباه الموصلات وغيرها من مجالات معالجة النانو الصغيرة:

① الحفر متباين الخواص ، مما يعني فقط الحفر الرأسي دون الحفر الجانبي . فقط بهذه الطريقة يمكننا ضمان النسخ المتماثل الدقيق للأشكال الهندسية مماثلة لتلك الموجودة على المقاومة على الفيلم المحفور ؛
② انتقائية الحفر الجيدة تعني أن معدل الحفر للمقاومة المستخدمة كقناع والفيلم الرقيق أو المادة الكامنة أقل بكثير من الفيلم الرقيق المحفور ، لضمان فعالية تقنيع القناع أثناء عملية الحفر ومنع الأضرار التي لحقت المواد الأخرى تحت الفيلم الرقيق بسبب الحفر المفرطة ؛
③ دفعات المعالجة الكبيرة ، والتحكم السهل ، والتكلفة المنخفضة ، والحد الأدنى من التلوث البيئي ، ومناسبة للإنتاج الصناعي .